推板爐專門設(shè)計用于雙溫區(qū)CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝，兩個溫區(qū)獨(dú)立控制，溫區(qū)可單獨(dú)使用，也可提供較大梯度差的溫場。硅鉬棒、硅碳棒，硅碳棒，電阻絲組合加熱，在同一腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)不同的溫度差，是CVD工藝的專用理想設(shè)備。

　　今天小編要與大家分享的是推板爐所具備的技術(shù)優(yōu)勢：

　　1、使用安全性

　?。?）超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動斷電及報警。

　?。?）漏電保護(hù)功能，當(dāng)爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。

　　2、操作便捷性

　?。?）氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。

　?。?）使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。

　?。?）取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

　　3、結(jié)構(gòu)實(shí)用性

　?。?）爐膛材料采用多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500度的優(yōu)質(zhì)硅碳棒及表面溫度1700度的硅鉬棒。

　?。?）密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。

　?。?）兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力，杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。

　　（4）采用空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到達(dá)50℃時，排溫風(fēng)扇將自動啟動，使?fàn)t體表面快速降溫。

　　4、控制智能化

　　（1）電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

　?。?）國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫，進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編程40段程序控溫。

　?。?）爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口，可實(shí)現(xiàn)與計算機(jī)相互連接。完成與單臺或多達(dá)200臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。